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赫尔纳供应德国HSR侧法兰低温泵
参考价:¥0~0

型号:VCP 系列

更新时间:2026-09-22  |  阅读:15

详情介绍

赫尔纳供应德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列

 

赫尔纳供应德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列,德国总部直接采购,近 30 年进口工业品经验,原装产品,支持选型,为您提供一对一的解决方案:货期稳定,报价,价格优,在中国设有 8 大办事处提供相关售后服务

 

公司简介

HSR AG 总部位于列支敦士登巴尔泽斯,设立德国 HSR Vakuum 分公司,企业专注高真空、超高真空设备研发制造,产品线覆盖低温泵、油扩散泵、真空阀门、真空测量组件等,产品面向镀膜、光学、科研、半导体真空工艺场景,设备出厂前完成真空性能检测。

 

主要产品

1. VCP 侧法兰低温泵

2. CP 系列立式低温泵

3. VELCO 系列油扩散泵

4. 高真空闸阀与角阀

5. 真空冷帽、挡板组件

6. 小型风冷扩散泵

7. 真空规管及转接法兰

 

主要型号

1. VCP100 侧装低温泵

2. VCP160 侧装低温泵

3. VCP200 侧装低温泵

4. CP250 立式低温泵

5. VELCO400 扩散泵

6. VELCO630 扩散泵

7. DN100 高真空角阀

 

德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列产品介绍

本次介绍 VCP 系列侧法兰低温泵,为 90° 直角结构的高真空低温泵,高真空法兰布置在泵体侧面,适合设备安装空间受限的工况,泵体分为两段式壳体,方便内部部件检修。

 

技术参数

1. 法兰规格:VCP100 为 DN100 ISO-K;VCP160 为 DN160 ISO-K;VCP200 为 DN200 ISO-K

2. 前级真空法兰:VCP100/200 采用 DN40 ISO-KF;VCP160 采用 DN25 ISO-KF

3. 抽速(L/s)

VCP100:水 1100,氮气 550,氩气 400,氢气 580

VCP160:水 2600,氮气 1200,氩气 1000,氢气 1500

VCP200:水 5000,氮气 1800,氩气 1550,氢气 2500

4. 结构形式:90° 侧向入口设计,无内置冷头加热组件

5. 壳体密封:可选用 O 形圈或者金属密封

6. 再生方式:可选配加热夹套、吹扫气体,缩短再生时长

 

德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列工作原理

依靠制冷机将泵内冷板降至低温状态,气体分子接触低温冷板后发生冷凝、吸附,从而将气体从真空腔体捕获,实现高真空获取。一级冷板主要捕捉水蒸气,阻挡热辐射;二级低温冷板捕获氮气、氩气、氢气等气体。气体持续沉积在冷板表面,当吸附量达到上限,需要升温再生,释放捕获气体。侧向 90° 结构可以提升二级冷板的气体捕获能力。

 

德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列优势特点

1. 侧向 90° 法兰布局,适配腔体侧面安装,节省垂直方向安装空间

2. 两段式泵壳结构,拆开后便于对内部冷板进行维护清理

3. 对水蒸气、惰性气体拥有较高抽速,获取清洁无油真空环境

4. 可搭配加热夹套、吹扫气体,缩短再生作业消耗时间

5. 支持金属密封选型,满足更高清洁度的真空工艺需求

 

德国HSR侧法兰低温泵VCP 系列应用领域

1. 光学镀膜设备高真空获取

2. 科研实验室真空腔体系统

3. 半导体相关真空工艺设备

4. 空间环境模拟真空装置

5. 表面分析仪器真空机组

 

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