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芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM特点与用途
更新时间:2025-10-29      阅读:234

标题芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列

主要产品

KxS Technologies的主要产品包括:

半导体浓度监测仪

光学折射仪

过程监测设备

主要型号

KxS Technologies的主要型号有:

DCM-10半导体浓度监测仪

 

芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列产品介绍:

芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列

产品介绍

KxS Semiconductor浓度监测仪DCM-10是一种光学折射仪,用于实时监测晶圆加工过程中涉及的液体化学品或混合物的浓度。该设备采用折射率测量原理,通过检测光线通过样品时的折射角度变化来确定溶液浓度。

技术参数包括:

电源输入:24 VDC

通信接口:模拟信号(4-20 mA)和数字信号(Modbus TCP)

显示单位:温度补偿后的浓度单位(重量百分比或g/cm³)

连接尺寸:支持1/4、3/8、1/2、3/4和1英寸工艺管线

 

芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列优势特点

Ø 设备采用独立运行设计,测量功能集成在传感器内部

Ø 结构紧凑,占用空间较小

Ø 具有较好的流动特性,采用全通径设计

Ø 安装较为简便,支持标准接头

Ø 采用双体结构,光学部件在流路单元拆卸时保持完好

 

芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列主要应用:

芬兰KxS Technologies半导体浓度监测仪DCM产品系列

半导体制造

晶圆清洗

化学蚀刻

化学机械平坦化

来料化学品检测

 


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