标题：荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列

主要产品

SparkNano的主要产品包括空间原子层沉积系统，具体有：

SparkNano LabLine™

SparkNano Omega™

SparkNano Vellum™

荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列产品介绍：

荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列

产品介绍

SparkNano LabLine™是一种用于研究和开发的空间原子层沉积系统，支持多种基板类型和工艺过程。系统采用空间原子层沉积技术，通过将前驱体和共反应物在空间上分离，实现薄膜的逐层沉积。

技术参数包括：

基板类型：平面和多孔基板，如晶圆、玻璃、金属和聚合物箔

前驱体和共反应物：标准配置最多四个前驱体连接，共反应物包括H₂O，可选等离子体（如O₃、H₂、O₂）

样品面积：最大420 mm x 300 mm

沉积温度：热S-ALD为50°C–250°C，等离子体增强S-ALD为50°C–200°C

基板加载：手动，通过两个前室（一小一大）

系统尺寸：4.0米（宽）x 3.6米（深）x 2.1米（高）

荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列优势特点

Ø 系统具有较高的沉积速度，适应快速研发需求。

Ø 可处理多种基板类型，包括平面和多孔材料。

Ø 系统配置灵活，支持多种前驱体和共反应物选项。

Ø 从实验室到生产的过渡较为顺畅，支持规模化扩展。

荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列主要应用：

荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列

太阳能电池

氢能技术

显示器件

电池制造